Le valvole a vuoto hanno molti usi nei sistemi a vuoto, principalmente tra cui i seguenti aspetti:
- Switch Gas Percorso: può cambiare la via del flusso del flusso d'aria e realizzare il controllo on-off di diverse condotte nel sistema a vuoto. Ad esempio, nelle apparecchiature di rivestimento sotto vuoto, controllando l'apertura e la chiusura della valvola a vuoto, la camera di rivestimento può essere collegata o scollegata con diverse condutture come pompe a vuoto e sistemi di inflazione per soddisfare le esigenze delle diverse fasi del processo di rivestimento.
- Controllare le dimensioni del flusso d'aria: la valvola a vuoto di regolazione può controllare l'angolo di apertura del coperchio della valvola, regolando così le dimensioni del flusso d'aria che scorre attraverso la tubazione e quindi controllando il grado di vuoto nel contenitore. Ad esempio, in alcuni esperimenti o processi di produzione che richiedono un controllo preciso del grado di vuoto, regolando l'apertura della valvola a vuoto, il grado di vuoto nel sistema può essere mantenuto all'interno dell'intervallo richiesto.
- Inflazione quantitativa: alcune valvole a vuoto possono realizzare la funzione di inflazione quantitativa. Ad esempio, se c'è un piccolo foro di un certo volume sullo stantuffo della valvola di vetro, quando il piccolo foro è collegato al cilindro di gas ad alta pressione, può essere riempito con gas ad alta pressione. Quando è collegato al contenitore a vuoto, il volume di gas ad alta pressione viene inserito nel contenitore, realizzando così l'inflazione quantitativa.
- Sistema di isolamento: può isolare due percorsi di flusso, mantenere la pressione del sistema e ridurre la perdita di flusso. In un sistema a vuoto, quando una parte deve essere riparata, sostituita o altre operazioni vengono eseguite su una determinata parte, la valvola a vuoto corrispondente può essere chiusa per isolare la parte dal resto del sistema per impedire la perdita di gas o le variazioni di pressione di influenzare il normale funzionamento di altre parti.
- Proteggi la pompa del vuoto: installato all'ingresso dell'aria della pompa del vuoto per evitare che la pompa del vuoto meccanico di ritorno dell'olio. Quando la pressione nel sistema a vuoto cambia in modo anomalo, la valvola a vuoto può essere chiusa in tempo per evitare che l'olio venga disegnato nel sistema a vuoto e proteggere la pompa del vuoto e altre attrezzature da danni.
- Oggetti di trasferimento: in un sistema a vuoto multi-camera, la valvola di trasferimento può essere utilizzata per trasferire oggetti (come i wafer) da una camera all'altra, in particolare tra la camera di trasferimento e la camera di processo ed è una scelta ideale per i sistemi multi-chamber.